据外媒报道,近日,asml发言人monique mols向媒体提及,asml首席财务官roger dassen已确认今年年底前将向英特尔和台积电运送两台high-na euv光刻机。
英特尔早在2022年便宣布购买了5台此类设备(型号为twinscan nxe:3600d),旨在为2025年生产的 intel 18a 芯片做准备。据了解,三星和sk海力士明年也将得到high-na euv光刻机,预计在2025年下半年。
此前有报道称,一台high-na euv光刻机的价格大概为3.8亿美元,是euv(约1.83亿美元)的两倍多,目前asml每年high-na euv光刻机的产能大概在5到6台,收到的订单数量在10至20台之间。